RTK-Steuerprogramm
Teil: Topographie-Gesamtvorgang
Autor: U.Sacklowski
Dokumentversion: v2.1 (7.Juli.2000)
1. Einleitung: Fachlicher Hintergrund, Ziel und Grobablauf
des Topographie-Gesamtvorganges
2. Feinablauf des Topographie-Gesamtvorganges
2.1 Verbale Beschreibung
(eine weitere Untergliederung
erfolgt dort)
2.2 Beschreibung in Pseudokode
1. Einleitung: Fachlicher Hintergrund, Ziel und Grobablauf des Topographie-Gesamtvorganges
(Einen Überblick über die physikalischen und technischen Grundlagen finden Sie unter "II. Überblick - Datailüberblick" - Pkt. 2.)
Das Ziel der Topographie besteht in der Erfassung der Kristall-Realstruktur einer Meßprobe auf einer Fotoplatte, einem Film oder einem 2D-Detektor. Das erfaßte Kristall-Raumsegment hat eine Fläche von etwa 8 mm x 8 mm und eine Tiefe von max. 20 Mikrometern. Dies entspricht etwa 10 exp. 5 Netzebenen. (Die Eindringtiefe hängt vom Einfallswinkel ab, - je steiler, desto tiefer.)
Meßprinzip der Topographie, - hierbei bezugnehmend auf die nachfolgende Abbildung:
Ein (idealer) Kollimatorkristall erzeugt aus dem von der Röntgenröhre ausgehenden schmalen Strahlenbündel durch Braggreflexion ein breit aufgefächertes nahezu paralleles Strahlenbündel. Dieses trifft in einem bestimmten Winkel nahezu monochromatisch (+ Rauschen) auf die Meßprobe. Von ihr erhält man ebenfalls durch Bragg-Reflexion ein Abbild, wenn lokal für jeden Punkt der Probe die Bragg-Bedingung erfüllt ist. Der Erfassung des Abbildes dient eine Fotoplatte, ein Film oder ein 2D-Detektor, die/der in den reflektierten Strahl gebracht wird. Abweichungen von der Idealstruktur führen zu Abweichungen von der Bragg-Bedingung und damit zu einer kontrastreichen Abbildung, die der Realstruktur der Probe entspricht. Beispiel: rechtes Bild der nachfolgenden Abbildung.
Abb.: Zwei Abbildungen einer Realstruktur einer gekrümmten Probe
links:
ebener Kollimator
rechts:
Kollimator mit gleicher Krümmung wie die der Probe
Beide Bilder stammen von der gleichen Probe in der gleichen Lage, trotzdem links reduziert auf einen Streifen und rechts weit aufgefächert. Der Grund liegt in einer leichten Krümmung der Probe, und somit der Erfüllung der Bragg-Bedingung in nur einem schmalen Bereich. Dieses Phänomen kann man durch eine nachfolgende Krümmung des Kollimators mit dem gleichen Krümmungsradius, wie dem der Probe, beheben (siehe nachfolgende Abb.). Ist die Probe jedoch so stark oder auch unregelmässig gekrümmt, daß dies durch eine Kollimatorkrümmung nicht mehr ausgleichbar ist, wird die Probe bei maximaler Kollimatorkrümmung bzw. ungekrümmtem Kollimator nach der ersten Messung (Belichtung), ein Stück gedreht, hier zum zweiten mal belichtet, u.s.w. (Mehrfachbelichtung).
Die Belichtungszeit für eine Probenstellung kann viele Stunden betragen. Bei Mehrfachbelichtung verlängert sie sich entsprechend um die Anzahl der Belichtungen. Während dieser Zeit kann die Meßanlage durch thermische Einflüsse geringfügig deformiert werden, was zur Abweichung von der Bragg-Bedingung, bzw. von den Bedingungen am eingangs eingestellten Arbeitspunkt (s.u.), führt. Aus diesem Grund wird durch einen Kontrolldetektor (siehe obige Abb.: Schema der Zweikristall-Topographiekamera) ständig die von der Probe reflektierte Stahlung gemessen. Bei Abweichungen über einen vorgegebenen Intensitätsbereich hinaus wird die Stellung der Probe nachreguliert. Eine Regulierung erfolgt über den Proben-Motor: Beugung fein (Siehe übernächste Abbildung. Dort sind auch noch weitere Proben-Motoren angeführt, die bei einer einleitenden Justage der Probe zum Einsatz kommen.)
Um diesen Kontroll- und Regelmechanismus empfindlich zu gestalten, wird die Probe nicht auf den Bragg-Reflex eingestellt, sondern auf einen Arbeitspunkt auf einer Flanke der Rocking-Kurve (siehe nachfolgende Abbildung). Dies hat gegenüber dem Pik den Vorteil, daß kleinste Orientierungsabweichungen zu starken Änderungen der Intensität des reflektierten Röntgenlichtes führen und damit sehr sensibel durch den Kontrolldetektor nachweisbar sind. Dies geht allerdings auf Kosten der Belichtungszeit, die am Bragg-Reflex am kürzesten wäre.
Im allgemeinen wird die linke Flanke gewählt, weil diese steiler als die rechte ist und damit Abweichungen in der Meßplatzanordnung noch schneller nachweisbar sind.
Der Gesamtvorgang der Topographie setzt sich aus zahlreichen Teilvorgängen zusammen, die am Meßplatz zu erledigen sind. Hierzu zählen bspw. ein Eintrag in das Protokollbuch, das Auflegen der Probe auf den Probenteller, die Justage der Probe auf den Arbeitspunkt. Die Gesamtabfolge wird in den nachfolgenden Punkten beschrieben.
Abschließend als Ergänzung zum Schema eines Zwei-Kristall-Topographiemeßplatzes eine Fotografie eines solchen Meßplatzes.
Abb.: Fotografie eines Zwei-Kristall-Topographiemeßplatzes
2. Feinablauf des Topographie-Gesamtvorganges
2.1 Verbale Beschreibung
1. Erfassung allgemeiner Angaben zum Meßvorgang
1.1 Handschriftliche Einträge in einem Protokollbuch
(Manuelle Aufgabe)
1.2 Allgemeine Einstellungen zum Meßvorgang
erfassen (Dialog-Aufgabe)
2. Platzierung der Probe auf dem Probenteller
und Vorabjustage (Manuelle und Dialog-Aufgabe)
3. Grobjustage der Probe für Azimutal
und Beugung grob (Dialog-Aufgabe)
4. Feinjustage der Probe für Kollimator,
Tilt und Beugung fein
4.1 Feinjustage für Kollimator, Tilt und
Beugung fein mittels manueller Justage (Dialog-Aufgabe)
4.2 Feinjustage für Kollimator, Tilt und
Beugung fein mittels automatischer Justage (Dialog-Aufg.)
4.3 Abnormale Probenverformung
4.4 Ermittlung abnormaler Probenverformung
und Einstellung auf das erste Belichtungssegment
4.4.1 Ermittlung abnormaler Probenverformung
(Manuelle -und Dialog-Aufgabe)
4.4.2 Einstellung auf das erste Belichtungssegment
(Dialog-Aufgabe)
5. Anfahren des Arbeitspunktes
5.1 Anfahren des Arbeitspunktes halbautomatisch
(Dialog-Aufgabe)
5.2 Anfahren des Arbeitspunktes automatisch
(Dialog-Aufgabe)
6. Topographie - Parameter einstellen (Dialog-Aufgabe)
7. Topographie - Start und Kontrolle (Dialog-Aufgabe)
8. Topographie - Auswertung der Aufnahmen (Manuelle
Aufgabe)
1. Erfassung allgemeiner Angaben zum Meßvorgang
Zu jedem Meßvorgang sind zu Beginn des Gesamtvorganges, teilweise aber auch während und am Ende, allgemeine Angaben zu erfassen . Hierzu gehören bspw. eine Lageskizze der Probe auf dem Probenteller, die gesamte Belichtungszeit und physikalische Parameter zur Probe, zum verwendeten Röntgenlicht und zur zu untersuchenden Netzebene der Probe.
1.1 Handschriftliche Einträge in einem Protokollbuch (Manuelle Aufgabe)
In einem Protokollbuch erfolgen handschriftlich insgesamt 18 Eintragungen,
die meisten vor der Messung, wenige jedoch auch danach. Dazu zählen
eine Lageskizze der Probe auf dem Probenteller, die Zählrate am Pik
zu Beginn der Messung, die Lage und der Wert des Arbeitspunktes und die
gesamte Belichtungszeit. Einen Gesamtüberblick zeigt die nachfolgende
Tabelle.
| Bezeichnung_________ | Beispiele_ | Ma"s-
einheit |
Datentyp | Bemerkungen___________________ |
| lfd. Nr. | C3335 | . | string(5) | Versuchsnummer |
| Datum | 22.7.
4.10.99 |
. | date | Versuchsdatum |
| Probe (Mat./Nr.)
Probe: Material: Nr.:
|
TU Bridgman GaAs 40
|
. |
string(?) string(?) string(?) |
Bezeichnung, wird mitgeliefert Materialbezeichnung , wird mitgeliefert
|
| Aufnahmesituation:
Lageskizze: Reflex: Einfallswinkel: |
531
|
Grad |
3 x:
|
zur Probe:
Skizze mit Orientierung der Probe auf dem Me"stisch. Ang. in Grad, Min., Sek. Reflexionsebene in der Probe, Angabe mittels Gittervektoren Winkel zwischen einfallendem Strahl u. Probenebene |
| Kollimator:
Material: Reflex: Nr.:
|
Si 440 94
|
Mikro-
|
string(?) 3 x: +/- int.(1) integer(3) integer(3) |
Reflexionebene im Kollimator,
Angabe mittels Gittervektoren entnommen der Koll.-Beschriftung Koll.-Kr"ummung |
| R"ohre:
kV: mA: RTK-Nr.: |
40 25 4 |
kV mA |
integer(3) integer(3) integer(2) |
R"ontgenr"ohre:
Spannung und Strom Nr. der R"ohre |
| Imp/s Max | 40T
130T 40/30 3F ? |
Tausend | integer(3)
??? |
Impulse/s bei Me"sungsbeginn am Pik |
| HWB | 15"
6" |
arcsec | integer(2) | Halbwertsbreite Rockingkurve |
| Aufnahmematerial | L4 | . | string(2) ? | Fotoplatte-, Film-Bezeichnung |
| Abstand | 15
25 |
mm | integer(2) | Abstand: Aufnahmemat. - Probe |
| ???:
ST.E. CR.T. SM.INC.DF |
100 ? ? |
% |
integer(3)? |
Statistical Error ? Smallest incremental DF (kleinste Schrittweite Beugung fein) |
| NB. EXPOS. | 1
4 |
. | integer(1) | Number Exposure (Belichtungen) |
| A.B.E.
R.S.A. |
?
? |
arcsec
arcsec |
integer(?)
integer(?) |
Angle between Exposure
? Start Angle |
| CON. LIMIT | 5 | % | integer(1) | Control Limit, proz. Abweichung, bei der Belichtungsregelung einsetzt |
| CON. POINT | -60
50 |
% | integer(2) | Control Point (Arbeitspunkt) |
| EXP. T. | 5
110 |
h | integer(3) | Exposure Time Belichtungs-Zeit) |
| Regelung:
Imp/s DF vor/nach |
140 550 (40/25) ? -244/-237 |
Imp/s arcsec ? |
integer(4) 2x:
|
Impulse/sec bei Me"sungsbeginn Beugung fein (DF) bei Beginn und
|
| Bemerkung | Fehlschnitt
300arcsec/ 90 arcsec |
. | string(?) | allgemeine Bemerkungen |
Erklärungen zu den Bezeichnungen:
Reflex: Reflexionsebene im Kristall
ST.E.: Statistical Error
CR.T.: ?
SM.INC.DF: Smallest Incremental DF (kleinste
Schrittweite DF)
NB.EXPOS.: Number Exposition (Zahl der Belichtungen)
A.B.E.: Angle Between Exposition
R.S.A.: ? Start Angle
CON.POINT: Control Point (Arbeitspunkt)
EXP.T.: Exposure Time (Belichtungszeit)
Imp/s: Impulse/s (Impulszahl bei Messungsbeginn)
1.2 Allgemeine Einstellungen zum Meßvorgang erfassen (Dialog-Aufgabe)
Einige Angaben werden vom Softwaresystem abverlangt (Abb.: Dialogbox
'Allgemeine Einstellungen'). Diese dienen der Information während
der Topographiemessung. Hier werden sie während der Messung teilweise
im unteren Fensterrahmen des Hauptfensters angezeigt (Name der Probe, Untersuchter
Reflex).
Eine Beschreibung dieser Dialogbox erfolgt in dem Entwicklerdokument
'Allgemeine Einstellungen zum Meßvorgang'.
2. Plazierung der Probe auf dem Probenteller und Vorabjustage (Manuelle und Dialog-Aufgabe)
Eingangs wird die Probe auf den Probenteller gelegt. Für ihre Lage auf dem Teller (Proben-Drehung) werden die mit der Probe gelieferten Angaben benutzt (Manuelle Aufgabe). Anschließend wird im allgemeinen die Probe grob gegen den Detektor justiert. Hierfür wird für die Anzeige des Detektors das Zählerfenster geöffnet (nachfolgende Abb., Dialog-Aufgabe). Danach wird der gesamte Probenteller mit seinen Motoren manuell in eine solche Stellung gekippt, das der Detektor etwa eine maximale Impulsrate anzeigt. Hierfür wird oft auch die akustische Detektorausgabe benutzt und das Maximum dann an Hand der Lautstärke ermittelt (Manuelle Aufgabe). Damit ist eine Vorabjustierung der Probe bis auf ca. 3 Grad genau vorgenommen worden.
Abb.: Zählerfenster mit pop-up - Menü
3. Grobjustage der Probe für Azimutal und Beugung grob (Dialog-Aufgabe)
Der Vorgang der Grob- und der anschließenden Feinjustage ist/wird detailliert in dem Entwicklerdokument 'Grob- und Feinjustage-Gesamtdokumentation' beschrieben.
Unter Zuhilfenahme der Zählerfunktion und der Dialogbox 'Manuelle Justage' (Abb. unten) wird die Probe unter Verwendung der Motoren Azimutal und Beugung grob so justiert, daß der Detektor eine maximale Impulsrate zählt. Damit ist die Justage hinsichtlichg dieser beiden Motoren beendet.
Abb.: Dialogbox 'Manuelle Justage'
4. Feinjustage der Probe für Kollimator, Tilt und Beugung fein
4.1 Feinjustage für Kollimator, Tilt und Beugung fein mittels manueller Justage (Dialog-Aufgabe)
In einem iterativen Prozeß werden die drei Motoren für denKollimator, Tilt und Beigung fein mittels der Dialogbox 'Manuelle Justage' so eingestellt, daß der Detektor eine maximale Impulsrate zählt ('Zählerfenster'). Damit ist der Braggreflex (Pik der Rockingkurve) gefunden und die Justage beendet.
Die Krümmung des Kollimators ist nur dann erforderlich, wenn die Probe gekrümmt ist. In diesem Fall wird die Kollimatorkrümmung der Probenkrümmung angepaßt, mit dem Ergebnis, daß für die gesamte Probe die Bragg-Bedingung gilt. Damit weitet sich das Ergebnisfoto von der Topograhie von einem schmalen Strich zur vollen Breite auf (siehe Abb. in Pkt. 1).
Fortgesetzt wird mit Pkt. 5.,bei zu starker oder unregelmäßiger Probenkrümmung mit Pkt. 4.3.
4.2 Feinjustage für Kollimator, Tilt und Beugung fein mittels automatischer Justage (Dialog-Aufgabe)
Gegenwärtig arbeiten Derrick Hepp und Sebastian Freund an dieser Lösung. Voraussetzung hierfür ist neben der Grobjustage (Pkt. 3.1) eine möglichst genaue Einstellung des Kollimators.
Die zugehörige Dialogbox wird die 'Automatische Justage' sein.
*** Abb.: Dialogbox 'Automatische Justage'
Von hier aus startet die automatische Justage die Suche nach dem Braggreflex. Bewegt werden Kollimator, Tilt und Beigung fein unter Verwendung eines speziellen Algorithmus. Der Stand der Suche kann in einem zusätzlich geöffneten 'Zählerfenster' angezeigt werden. Damit ist die Justage beendet.
Fortgesetzt wird mit Pkt. 5., bei zu starker oder unregelmäßiger Probenkrümmung mit Pkt. 4.3.
4.3 Abnormale Probenverformung
Bei 90% aller Proben führen die Aktivitäten obiger Feinjustage
zum Erfolg. Damit geht es weiter mit Pkt.5. Im Ergebnis wird die Probe
während der anschließenden Topographie in einer Stellung gehalten.
Bei dem Rest der Proben liegt eine abnormale Probenverformung vor. Es geht
weiter mit Pkt. 4.4. Im Ergebnis wird die Probe während der anschließenden
Topographie segmentweise belichtet (Mehrfachbelichtung).
4.4 Ermittlung abnormaler Probenverformung und Einstellung auf das erste Belichtungssegment
Ist die Probe nicht regelmäßig oder auch zu stark gekrümmt (stärker als die max. Kollimatorkrümmung), führt die Feinjustage (Pkt. 4.1 oder 4.2) nicht zum Ziel. In diesem Fall ist die Segmentstruktur der abnormale Probenkrümmung zu ermitteln und die Probe anschließend auf das am weitesten links oder rechts liegende Segment einzustellen.
4.4.1 Ermittlung abnormaler Probenverformung (Manuelle -und Dialog-Aufgabe)
Zwei Deformationsformen sind zu unterscheiden:
a) Probe ist gleichmäßig, aber stärker als die maximale
Kollimatorkrümmumg gekrümmt. Maßnahme: Kollimator wird
in gleicher Richtung wie die Probe maximal gekrümmt und die Probe
wird segmentweise (jeweils für mehrere Stunden) belichtet.
b) Probe ist unregelmäßig gekrümmt (Wellblech). Maßnahme:
Kollimator wird eben gestellt und die Probe wird segmentweise (jeweils
für mehrere Stunden) belichtet.
Zur Feststellung einer übermäßigen oder unregelmäßigen
Verformung der Probe wird von dieser in unterschiedlichen Stellungen (Beugung
fein) ein Bild gefertigt. Im allgemeinen genügen drei Stellungen.
Als Aufnahmemedium wird ein hoch empfindlicher, aber nur gering auflösender
Film verwendet. Eine Belichtungszeit von wenigen (3 - 5) Minuten ist ausreichend.
Nach der Entwicklung des Filmes (Manuelle Aufgabe) zeigt sich auf einer
solchen Aufnahme bei übermäßiger oder unregelmäßiger
Probenkrümmung normalerweise ein schmaler und gekrümmter heller
Streifen. Durch Verstellen von Beugung fein und erneuter Aufnahme ist zu
erreichen, das der jetzige Streifen dicht neben den ursprünglichen
gelangt.
Ist dies der Fall, hat man die Beugung fein - Schrittweite zwischen
den Segmenten und auch ihre Anzahl für die Mehrfachbelegung
ermittelt.
Da das Filmmaterial nicht mehr erhältlich ist, wird statt dessen zunehmend ein gering auflösender CCD-Detektor verwendet. Er wird mit seinem Monitor off-line betrieben, der die Impulsrate für jede CCD-Position anzeigt. Die Abbildung erfolgt statt auf dem Film nun auf dem Monitor. Der sonstige Ablauf ist der Gleiche.
Hilfsmittel bei der Ermittlung der abnormalen Probenstruktur sind das 'Zählerfenster' und die Dialogbox 'Manuelle Justage'.
4.4.2 Einstellung auf das erste Belichtungssegment (Dialog-Aufgabe)
Nach der Ermittlung der Segmentstruktur (Anzahl und Abstand der Segmente) wird die Probe auf den Bragg-Reflex des am weitesten links oder rechts liegenden Segmentes eingestellt.
Hilfsmittel bei der Einstellung sind das 'Zählerfenster' und die Dialogbox 'Manuelle Justage'.
5. Anfahren des Arbeitspunktes
Dieser Punkt ist evtl. nicht für abnorm verformte Proben relevant.
Nachfolgende Einstellung der Probe auf einen Bruchteil der Maximalintensität. Hierzu wählt man oft 60% von der reflektierten Maximalintensität an der linken Flanke der Rockingkurve. Hier verläuft die Kurve sehr steil und es ist damit relativ leicht, programmtechnisch diesen Punkt über die gesamte Meßzeit hinweg konstant zu halten. (60% ist nur ein Richtwert. Darüber hinaus wird vereinzelt auch die rechte Flanke benutzt.)
5.1 Anfahren des Arbeitspunktes halbautomatisch (Dialog-Aufgabe)
Unter Zuhilfenahme des 'Zählerfensters' und der Dialogbox 'Manuelle Justage' wird über 'Beugung fein' der Arbeitspunkt angefahren.
5.2 Anfahren des Arbeitspunktes automatisch (Dialog-Aufgabe)
Das Anfahren des Arbeitspunktes kann auch später aus der Dialogbox 'Topographie' heraus geschehen (Pkt. 7)
Der Arbeitspunkt ist der Ausgangspunkt für die Topographiemessung. Er wird durch den Winkel (Beugung fein) und die Intensität der reflektierten Röntgenstrahlung bestimmt.
6. Topographie - Parameter einstellen (Dialog-Aufgabe)
Alle für die Durchführung der Topographie erforderlichen Parameter werden über die Dialogbox 'Einstellungen Topographie' eingegeben .
Sie betreffen
- den Motor (Actuator), der
-- im Bedarfsfall mit der Schrittweite 'Belichtungsregelung; Schritt'
nachgeregelt wird,
-- bei Mehrfachbelichtung um die Schrittweite 'Mehrfachbelichtung;
Schrittweite' zum nächsten Segment nachgeregelt wird,
- den Bedarfsfall 'Belichtungsregelung; Bereich', mit dem die maximale
Abweichung zwischen der vom Detektor gemessenen Impulsrate von der am Arbeitspunkt
gemessenen angegeben wird,
- den Arbeitspunkt mit Lage und Anfahrgeschwindigkeit 'Arbeitspunkt;
Lage und Anfahren mit',
- den Detektor mit Zählzeit und maximalen Counts 'Detektor; Zeit
und Counts',
- Angaben zur Mehrfachbelichtung mit Anzahl (Segmentanzahl), Startposition
und Abstand zwischen den Segmenten 'Mehrfach-Belichtung; Anzahl, Startwert,
Schrittweite',
- zur Belichtungszeit (einmalig oder je Segment) 'Belichtungszeit;
Minuten,
- eine Abbruchbedingung für den Fall, daß der Actuator stark
von seiner Ausgangsposition abweicht, wie es etwa beim Ausfall der Röntgenquelle
geschehen kann 'Beschränkung auf; Sekunden'.
Eine detaillierte Beschreibung erfolgt im Pflichtenheft-Punkt: Einstellen
der Parameter für die Topographie
7. Topographie - Start und Kontrolle (Dialog-Aufgabe)
Dem Start, der Kontrolle sowie einiger zusätzlicher Funktionen dient die Dialogbox 'Topographie'.
Im Einzelnen betrifft dies:
- den Start der Topographie 'Regelung starten' mit der anschließenden
Anzeige
-- der abgelaufenen 'Meßzeit',
-- der über die Gesamtmeßzeit hinausgegangenen 'Zusatz-Zeit',
-- der inzwischen vom Arbeitspunkt erfolgten 'Drift',
-- der noch verbleibenden 'Rest-Zyklen' im Falle der Mehrfachbelichtung,
-- der aktuellen 'Detektor-Meßzeit',
- die zwischenzeitliche Änderung
-- der 'Detektor-Meßzeit',
-- ausgewählter 'Detektor-Parameter' über 'Einstellungen',
- das Stoppen der Topographie ( 'Regelung starten' wird nach dem Start zu 'Regelung stoppen'; 'Regelung stoppen' wird nach Betätigung wieder zu 'Regelung starten'). Ein anschließender Start beginnt wieder mit der Meßzeit Null.
- einem Vorab- 'Startposition einstellen', was zum Anfahren des Arbeitspunktes bei der Einfachbelichtung bzw. des Startpunktes bei der Mehrfachbelichtung führt.
Eine detaillierte Beschreibung erfolgt im Pflichtenheft-Punkt: Start
und Kontrolle der Topographie
8. Topographie - Auswertung der Aufnahmen (Manuelle Aufgabe)
Abschließend sind die Aufnahmen zu entwickeln und auszuwerten.
2.2 Beschreibung in Pseudocode
Die Teilvorgänge im verbalen Teil (Pkt. 2.1) bilden hier einzelne und gleichlautende Abschnitte.
Topographie_Gesamtvorgang seq
Erfassung_allgemeiner_Angaben_zum_Meßvorgang
seq
Handschriftliche_Einträge_in_einem_Protokollbuch
(MA)
Allgemeine_Einstellungen_zum_Meßvorgang
(DA)
/* DB: Allgemeine
Einstellungen */
Erfassung_allgemeiner_Angaben_zum_Meßvorgang
end
Platzierung_der_Probe_auf_dem_Probenteller_und_Vorabjustage
seq
Platzierung_der_Probe_auf_dem_Probenteller_und_Vorabjustage
(MA) ||
Zähler_anzeigen
(DA)
/* DF: Zähler
*/
Platzierung_der_Probe_auf_dem_Probenteller_und_Vorabjustage
end
Grobjustage_der_Probe_für_Azimutal_und_Beugung_grob
seq
Manuelle_Justage
für Azimutal und Beugung grob (DA) ||
Zähler_anzeigen
(DA)
/* DB:
Manuelle
Justage ; DF: Zähler */
Grobjustage_der_Probe_für_Azimutal_und_Beugung_grob
end
Feinjustage_der_Probe_für_Kollimator_Tilt
und_Beugung_fein
select
manuelle_Justage
Manuelle Justage für Kollimator Tilt und Beugung fein
(DA) ||
Zähler_anzeigen
(DA)
/* DB: Manuelle Justage ; DF: Zähler */
or
automatische_Justage
Automatische Justage für Kollimator Tilt und Beugung
fein (DA) ||
Zähler_anzeigen
(DA)
/* DB: Manuelle Justage ; DF: Zähler */
Feinjustage_der_Probe_für_Kollimator_Tilt
und_Beugung_fein end
Ermittlung_abnormaler_Probenverformung_und_Einstellung_auf_das_erste_Belichtungssegm.
select
Feinjustage_der_Probe_für_Kollimator_Tilt und_Beugung_fein-war-erfolgreich
or
Feinjustage_der_Probe_für_Kollimator_Tilt und_Beugung_fein-war-nicht-erfolgreich
Ermittlung_abnormaler_Probenverformung seq
Aufnahme eines ersten Bildes (MA)
Aufnahme_eines_weiteren_Bildes
iter while weiteres_Bild_nicht_neben_erstem_Bild
Manuelle Justage Probe über Beugung fein verstellen
(DA) ||
Zähler_anzeigen (DA)
/* DB:
Manuelle Justage ; DF: Zähler */
Foto erstellen (MA)
Foto entwickeln (MA)
Bilder (Fotos) vergleichen (MA)
Aufnahme_eines_weiteren_Bildes end
/* Segmentabstand und Anzahl ermittelt*/
Ermittlung_abnormaler_Probenverformung end
Einstellung_auf_das_erste_Belichtungssegment seq
Manuelle Justage Einstellung auf am weitesten links oder
rechts liegendes Segment (DA)
Zähler_anzeigen (DA)
/* DB:
Manuelle Justage ; DF: Zähler */
Einstellung_auf_das_erste_Belichtungssegment end
Ermittlung_abnormaler_Probenverformung_und_Einstellung_auf_das_erste_Belichtungssegm.
end
Anfahren_des_Arbeitspunktes
select
Anfahren_des_Arbeitspunktes_halbautomatisch
Manuelle Justage Anfahren auf gewünschte Flanke und
Teilintensität (DA) ||
Zähler_anzeigen
(DA)
/* DB: Manuelle Justage ; DF: Zähler */
or
Anfahren_des_Arbeitspunktes_automatisch
/* Anfahren zu späterem Zeitpunkt */
Anfahren_des_Arbeitspunktes end
Topographie-Parameter_einstellen seq
Topographie-Parameter_einstellen
(DA)
/* DB: Einstellungen
Topographie */
Topographie-Parameter_einstellen end
Topographie-Start_und_Kontrolle seq
Topographie-Start_und_Kontrolle
(DA)
/* DB:Topographie
*/
Topographie-Parameter_einstellen
select
Button: _Einstellungen
Topographie-Parameter_einstellen /* beschränkte Möglichkeiten
*/
/* DB: Einstellungen Topographie */
Topographie-Parameter_einstellen
end
Anfahren_des_Arbeitspunktes_automatisch
select
Button:_Startposition_einstellen
Belichtungsart
select Einfachbelichtung
Topographie- autom._Anfahren_des_Arbeitspunktes
/* DB:Topographie; Button: Startposition einstellen */
or Mehrfachbelichtung
Topographie-autom._Anfahren_des_Startpunktes
/* DB:Topographie; Button: Startposition einstellen */
Belichtungsart end
Anfahren_des_Arbeitspunktes_automatisch
end
Topographie-Regelung
/* ist noch zu überarbeiten */
select
Button:_Regelung_starten
Topographie-Regelung
/* DB:Topographie */
Topographie-Regelung
iter while nicht_Topographie_stoppen /*Button: Regelung stoppen
*/
Topographie-Parameter_einstellen
select Button:_ Einstellungen
Topographie-Parameter_einstellen
/* beschränkte Möglichkeiten
*/
/* DB: Einstellungen Topographie */
Topographie-Parameter_einstellen end
Topographie-Regelung end
Topographie-Regelung
end
Topographie-Start_und_Kontrolle end
Topographie-Auswertung_der_Aufnahme seq
Topographie-Entwicklung_der_Aufnahme
(MA)
Topographie-Auswertung_der_Aufnahme
(MA)
Topographie-Auswertung_der_Aufnahme end
Topographie_Gesamtvorgang end