Der Begriff Halbwertsbreite bezieht sich auf die grafische Darstellung der Abhängigkeit zwischen der Menge der von der Probe reflektierten Roentgenstrahlung und der Position eines speziellen Stellmotors. Sie stellt ein Maß für die Güte der Positionierung dar: je kleiner die Halbwertsbreite, desto besser die Einstellung der Probe. Die Ermittlung der Halbwertsbreite erfolgt automatisiert durch die Software.