Die Diffraktometrie und die Reflektometrie haben für die Nutzung des XCTL-Systems einen genau so hohen Stellenwert wie die Topographie. Anders als bei der Topographie wird bei Diffraktometrie und Reflektometrie in mehreren aufeinanderfolgenden Belichtungsphasen jeweils nur ein Teil der Probe bestrahlt. Dem Programm obliegt dabei wieder die automatische Positionierung der Probe bzw. des verwendeten Detektors an Hand zuvor gewählter Werte.
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Projekt: Software-Sanierung